高纯氢(1333-74-0)的性状：
    1.无色、无臭、可燃气体。它是已知的最轻气体。
    2.正氢 气体密度(kg/m³)：0.08342(21.1℃，101.3kPa)，1.331(-252.8℃，101.3kPa)。气体相对密度(空气=1)0.06960(0℃，101.3kPa)。沸点-252.8℃，熔点-259.2℃。临界温度-239.96℃，临界压力1315kPa，临界密度30.12kg/m³。三相点-259.2℃(7.205kPa)。蒸发潜热446.0kJ/kg(-252.8℃)。熔化潜热58.09kl/kg(三相点下)。21.1℃、101.3kPa下气体比热容：C_p 14.34kl/(kg·℃)，C_v 10.12kJ/(kg·℃)。15.6℃时在水中溶解度0.019(体积比)。液体密度70.96kg/m³(-252.8℃，101.3kPa)。 气/液比(沸点下液体，21.1℃和101.3kPa下气体)850.3(体积比)。在空气中的可燃限4.0%～75.0%(体积)。自燃温度571.2℃。
    3.仲氢 沸点-252.9℃。熔点-259.3℃。临界温度-240.17℃，临界压力1293kPa，临界密度31.43kg/m³。三相点-259.3℃(7.042kPa)。蒸发潜热445.6kJ/kg(-252.9℃)。熔化潜热58.29kJ/kg(三相点下)。21.1℃、101.3kPa下气体比热容：C_p 14.88kJ/(kg·℃)，C_v 10.76kJ/(kg·℃)。C_p/C_v1.38。气体密度1.338kg/m³(-252.9℃、101.3kPa)。 液体密度70.78kg/m3(-252.9℃，101.3kPa)。气/液比(沸点下液体，21.1℃和101.3kPa下气体)848.3(体积比)。
    4.氢分子由两种同分异构体组成，在常温下，正仲氢比例为75：25。随着温度降低，仲氢比例提高，伴随着放出转化热。20.4K时平衡组成为0.2：99.8。
    5.在正常条件下，氢无腐蚀，但在高压和高温下，氢气可引起某些钢种的脆裂。
    6.氢气无毒，但不能维持生命，它是一种窒息剂。

用途：

高纯氢(1333-74-0)的用途：
    1.超纯氢主要用于大规模和超大规模集成电路的制造，提供还原气氛。高纯氢气作为配制SiH₄/H₂、PH₃/H₂、B₂H₆/H₂等混合掺杂气的底气。半导体工业对底气纯度要求极高，微量杂质“掺入”就会改变半导体表面特性。在硅外延时，需严格控制氢气中O₂、H₂O、CO、CO₂、CH₄等杂质含量。O₂与H₂O均可与硅反应生成SiO₂，影响完整结晶的生长。氢气中含有微量CO和CO₂都会使衬底氧化，生成多晶硅。如果含有CH₄，则会生成碳化硅进入外延层，引起缺陷。在砷化镓外延时对氢气纯度要求更高。在砷化镓液相外延制取激光器件过程中，当氢气中含氧量降至0.03×10^-6，露点低于-90℃时，器件寿命可达10⁴h以上。在电真空材料和器件生产过程中，对氢气纯度要求很高。如钨、钼都是电真空器件的重要材料，它能由氧化物经氢气还原得到粉末，再加工成线材和带材。电子管的阳极、阴极和栅极等金属器件，都需经过专门的烧氢处理，对氢气纯度要求很高。
    2.以氢作标准底气时，氢气纯度应为99.9999%。石化工业离不开各种标准气。氢也用作色谱载气。