中文名称: | 电子级磷烷 |
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英文名称: | phosphine,electronic grade |
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电子级磷烷的性状:
1.磷烷是一种无色、可燃气体,具有腐鱼气味。蒸气压:4020kPa(21.1℃),6302kPa(40.6℃),6998kPa(46.1℃)。在21.1℃和101.3kPa下气体密度1.405kg/m3。在25℃和101.3kPa下气体相对密度(空气=1)1.184。液体密度:623kg/m3(0℃),581kg/m3(15℃), 391kg/m3(50℃)。 沸 点-87.7℃,熔点-133℃。临界温度51.6℃,临界压力6535.8kPa,临界密度300.5kg/m3。在25℃下蒸发潜热204.TkJ/kg。101.3kPa下比热容1.093kJ/(kg·K)。在水中溶解度(体积气体/体积水)0.26。磷烷自燃温度37.8℃,当痕量其他亚磷氢化物存在时自然着火。在处理磷烷过程中,应把它看作是自燃和剧毒气体。
2.磷烷在室温下稳定,在约375℃下开始分解,在约600℃下完全分解。磷烷易被一般氧化剂如高锰酸钾和次氯酸钠氧化。与砷烷不同,它与碱起反应。磷烷是一种强还原剂,它可从许多重金属的盐溶液中脱溶重金属。它与氧、氯、氟和一氧化氮等氧化剂反应激烈。
3.TLV-TWA:0.3×10-6(0.4mg/m3)。
电子级磷烷的用途:
磷烷一般用作N型半导体的掺杂剂,它是化学汽相淀积和离子注入的一种磷源。在发光二极管的磷砷化镓膜的生产中也占有重要地位。可用于制造非晶硅太阳电池、磷硅玻璃钝化膜。还可用于制备各种有机物及卤化磷。