用途：用作有机化合物的氯化剂、化学中间体及用于制备钽等
1、在电子元器件表面、半导体器件表面、钛及金属氮化物电极表面、金属钨表面上形成附着力极 强，厚度为0.1μm级 的绝缘薄膜，具有高的介电率。 2、在氯碱工业电解铜箔、制氧工业回收电解阳极表面与废水工业中与钌化合物、铂族化合物混合 处理，形成氧化物导电薄膜，提高膜附着力，延长电极使用寿命5年以上。 3、制取超细五氧化二钽。
