SiH3Cl＋SbF3→SiH3F
室温下令SiH3Cl与SbF3在SbCl5存在下反应，即可制得SiH3F，产率可达80％。极易分解为SiH4和SiF4。
1.沸点（℃）：-98.6。
2.气化焓（kJ/mol）：18.8 。
3.气化熵（J/(mol·K)）：107.9。
1.疏水参数计算参考值（XlogP）:无
2.氢键供体数量:0
3.氢键受体数量:1
4.可旋转化学键数量:0
5.互变异构体数量:无
6.拓扑分子极性表面积0
7.重原子数量:2
8.表面电荷:0
9.复杂度:2
10.同位素原子数量:0
11.确定原子立构中心数量:0
12.不确定原子立构中心数量:0
13.确定化学键立构中心数量:0
14.不确定化学键立构中心数量:0
15.共价键单元数量:1
