| 中文名称： | 电子级硅烷 |
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| 英文名称： | silicane，electronic grade |
| CAS No.： | |
| EINECS号： | |
| 分 子 式： | SiH4 |
| 分 子 量： | |
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| 熔 点： | |
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| 危险品标志： | |
| 风险术语： | |
| 分子结构： |
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电子级硅烷的性状：
1.硅烷是一种无色、极活性压缩气体，在空气中自燃。相对分子质量32.112。
2.在21.1℃和101.3kPa下相对密度1.2。比容0.749m3/kg。0℃和101.3kPa下气体密度1.44kg/m3，-185℃下液体密度711kg/m3。在101.3kPa(1atm)下沸点-112℃，熔点-184.7℃。临界温度-3.4℃，临界压力4842kPa(绝对)，临界密度247kg/m3。在-122.2℃下蒸发潜热386kJ/kg。25℃和101.3kPa下气体比热容Cp1.334kJ/(kg·K)。在水中溶解度可忽略。
3.它具有令人窒息的气味，与空气混合后形成爆炸混合气。硅烷与重金属卤化物和游离卤素激烈反应。硅烷加热到约400℃，开始分解成非晶态硅和氢，在600℃以上即以晶态硅的形式分解出来。
电子级硅烷的用途：
广泛用于外延淀积单晶硅膜和生产多晶硅膜，制造非晶硅太阳电池，制造复印机的光敏部件，以硅鼓取代硒鼓。玻璃工业中用于生产茶色玻璃。在高科技领域，硅烷和乙烯在激光激活下可生成碳化硅超细粉末。硅烷和氨在激光的激活下，可生成氮化硅超细粉末。
