| 中文名称： | 电子级砷烷 |
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| 英文名称： | arsine，electronic grade |
| CAS No.： | |
| EINECS号： | |
| 分 子 式： | AsH3 |
| 分 子 量： | |
| 密 度： | |
| 闪 点： | |
| 熔 点： | |
| 沸 点： | |
| 危险品标志： |
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| 风险术语： |
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| 分子结构： |
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电子级砷烷的性状：
1.砷烷在室温和大气压下是一种无色、剧毒、可燃气体，它比空气重。蒸气压：1514.7kPa(21.1℃)，2199.4kPa(40.6℃)，2502.8kPa(46.1℃)，2999.2kPa(54.4℃)。在 20℃ 和101.3kPa下气体密度3.24kg/m3。在21.1℃和101.3kPa下气体相对密度(空气=1)2.69。21.1℃和101.3kPa下气体比容0.312m3/kg。液体密度：1.339kg/m3(20℃)，1.259kg/m3(40.6℃)，1.237kg/m3(46.1℃)，1.204kg/m3(54.4℃)。101.3kPa下沸点-62.5℃，凝固点-116.9℃。临界温度99.9℃，临界压力6598kPa。-62.48℃下蒸发潜热214kJ/kg。25℃下比热0.494kJ/kg。在水中溶解度0.23cm3/cm3。在空气中的可燃限4.5%～64%(体积)。有大蒜气味。与空气混合形成可燃混合气。砷烷微溶于水和有机溶剂，易与高锰酸钾、溴和次氯酸钠等起反应生成砷的化合物。砷烷在室温下稳定，在230～240℃下开始分解。砷烷是一种溶血性毒物，可中毒神经。
2.TLV-TWA：0.05×10-6(0.2mg/m3)。
电子级砷烷的用途：
用于半导体工业中外延硅的N型掺杂，硅中N型扩散，离子注入，生长砷化镓(GaAs)、磷砷化镓(GaAsP)以及与Ⅲ/Ⅴ族元素形成的化合物半导体。
