| 中文名称： | 电子级六氟化硫 |
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| 英文名称： | sulfur hexafluoride，electronic grade |
| CAS No.： | |
| EINECS号： | |
| 分 子 式： | SF6 |
| 分 子 量： | |
| 密 度： | |
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| 熔 点： | |
| 沸 点： | |
| 危险品标志： | |
| 风险术语： | |
| 分子结构： |
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电子级六氟化硫的性状：
1.六氟化硫是一种无色、无毒、无味、不可燃气体。在20℃、101.3kPa气体相对密度(空气=1)5.11。蒸气压(kPa)：2156(21.1℃)，3753(45.6℃)。在20℃和101.3kPa下气体密度6.17kg/m3。54.4℃下液体相对密度（水=1）0.728。在21.1℃和101.3kPa下气体比容0.16m3/kg。液体在其自身接近的蒸气压下密度(kg/m3)：1183.76(21.1℃)，1359.97(40.6℃)。101.3kPa下升华点-63.8℃。在2241kPa下熔点-50.8℃。临界温度45.55℃，临界压力3753kPa，临界密度734kg/m3。在20℃下蒸发潜热63.1kl/kg。在-50.8℃和224kPa下熔化潜热161.9kl/kg。21.1℃和101.3kPa下气体比热容cp0.67kJ/(kg·K)，25℃下在水中溶解度0.001(体积比)。在大气压下直接由固体升华为气体。六氟化硫绝缘强度高。它的化学性质稳定。在自身蒸气压下作为液化压缩气体装运。热分解或电解可生成毒性物质。液体接触皮肤可造成冷烧伤。是一种窒息剂。
2.TLV：1000×10-6。
电子级六氟化硫的用途：
在环境检测及其他部门用作标准气或配制标准混合气。在半导体工业中，用作等离子刻蚀剂。在光纤制备中用作生产掺氟玻璃的氟源，在制造低损耗优质单模光纤中用作隔离层的掺杂剂。还可用作氮准分子激光器的渗加气体。
