电子级三氯化硼的理化性质及危险特性(SDS\MSDS)表_结构式分子量熔沸闪点

中文名称：	电子级三氯化硼
英文名称：	boron(tri)chloride，electron grade
CAS No.：
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风险术语：
分子结构：

物化性质

电子级三氯化硼的性状：
1.在室温和大气压下为无色、有腐蚀性、不可燃的有毒气体。在湿空气存在下发烟。气体相对密度(空气=1)4.12。沸点12.5℃，熔点-107.3℃。气体密度 4.85kg/m³(21.1℃、1atm)。蒸气压131.7kPa (21.1℃)。液体密度 1324kg/m³(21.1℃)。临界温度178.8℃，临界压力3870kPa，临界密度269kg/m³。蒸发潜热199.8kJ/kg（21.1℃)。气体比热容C_p 0.533kJ/(kg·K)(21.1℃)。液体比热容C_p0.962kJ/(kg·K)(21.1℃)。三氯化硼有令人窒息的臭味。在其自身蒸气压30.3kPa下呈液态，以钢瓶装运。
2.三氯化硼是一种腐蚀性液体。TLV未定。可采用氯化氢的TWA5×10^-6。1983年，ACGIH推荐相关的三溴化硼TLV 1×10^-6。

用途：

电子级三氯化硼的用途：
用作硅和锗外延、扩散和离子注入过程的P型掺杂源。用于光导纤维、药品和耐热涂料的制造。还可用作铝的气相刻蚀剂。制造IMDRAM需用三氯化硼，可提高集成电路产率。在高能燃料和火箭推进剂中，作为硼源以提高BTU值。三氯化硼在制备氮化硼、碳化硼等超细微粉方面有广阔的应用前景。

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