电子级五氟化钽的理化性质及危险特性(SDS\MSDS)表_结构式分子量熔沸闪点

中文名称：	电子级五氟化钽
英文名称：	tantalum pentafluoride，electronic grade
CAS No.：
EINECS号：
分子式：	TaF₅
分子量：
密度：
闪点：
熔点：
沸点：
危险品标志：
风险术语：
分子结构：

物化性质

电子级五氟化钽的性状：
1.白色固体。在空气中潮解，溶于水发嗤声，沸点229℃，熔点97℃。
2.在80～230℃下，其蒸气压方程为P_pa=133.3(8.524-2834/T)。

电子级五氟化钽的用途：
本品在微电子工业中用作化学气相淀积硅化钽或钽膜，制作低电阻、高熔点的电路互连线和栅极。

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