电子级四氟化钛的理化性质及危险特性(SDS\MSDS)表_结构式分子量熔沸闪点

中文名称：	电子级四氟化钛
英文名称：	titanium tetrafluoride，electronic grade
CAS No.：
EINECS号：
分子式：	TiF₄
分子量：
密度：
闪点：
熔点：
沸点：
危险品标志：
风险术语：
分子结构：

物化性质

电子级四氟化钛的性状：
1.白色固体。吸湿性很强，与水反应发出嗤声。
2.熔点123.89℃，升华点284℃。蒸气压方程为：log₁₀P(Pa)=17.631-5331.51/T-2.567log₁₀T。

电子级四氟化钛的用途：
本品在微电子工业中用作化学气相淀积或离子注入形成硅化钛或钛膜：制作低电阻、高熔点的电路互连线和栅极。

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