中文名称: | BP-212重氮萘醌型紫外正型光刻胶 |
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英文名称: | ultraviolet positive photoresist BP-212 |
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分子结构: |
BP-212重氮萘醌型紫外正型光刻胶的制备方法如下:
1、线形酚醛树脂的萘醌-1,2-二叠氮-5-硫酸酯的合成:
(l)l萘醌-1,2-二叠氮-5-磺酸的酰氯化:将氯磺酸边搅拌边慢慢地升温,再慢慢加人萘醌-1,2-二叠氮-5磺酸。加完后在55~65℃之间继续搅拌反应,然后,降温到20~99℃,将反应液注入冰水中使之结晶析出、过滤、水洗,在暗处减压干燥,则得黄色的萘醌-1,2-二叠氮-5-磺酰氯,干燥后贮存在暗处。
(2)线形酚醛树脂的酯化:苯醌-1,2-二叠氮-5-磺酰氯和线形酚醛树脂溶于二氧六环中,在40℃边搅拌边慢慢地加入碳酸钠水溶液,立刻会生成白色沉淀,继续搅拌沉淀,则变成黏性油状物,用倾斜法除去上清液,加入大约10倍的水剧烈搅拌,则油状物变为粉末。过滤沉淀物用甲醇充分洗涤,在40~50℃下干燥,则得线形酚醛树脂的酯化物。
2、感光液的配制:按照一定的比例把线形酚醛树脂、光敏剂、结晶紫、苦味酸、氨丙基三乙氧基硅烷硬脂酸(增塑剂)、甲基溶纤剂乙酸酯投入反应釜中,搅拌混合均匀,然后进行过滤、包装,即为成品。
BP-212重氮萘醌型紫外正型光刻胶的用途如下:
1、用于中、小规模及大规模集成电路,分主元件复制及拍摄光棚。
2、大功率管及集成光学,表面金属化处理,离子处理及电子束曝光。
3、印刷用PS版制备。