中文名称: 聚肉桂酸乙烯基氧乙酯
英文名称: polycinnamic acid vtnyloxyothylated ester
CAS No.:
EINECS号:
分 子 式:

 

分 子 量:
密 度:
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熔 点:
沸 点:
危险品标志:

 

风险术语:

 

分子结构:
物化性质

聚肉桂酸乙烯基氧乙酯的性质如下:
    分辨力和灵敏度高、黏附性强、显影后很少产生皱胶、针孔罕观、贮存稳定和等离子去胶效果好等优异性能,这种负胶的光刻最细条宽为0.5μm,适用于1~1.5μm以上条宽的。

用途:

聚肉桂酸乙烯基氧乙酯的用途如下:
    用于光敏抗蚀剂、半导体器件、集成电路的和超微细光刻材料。

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