| 中文名称: | 聚肉桂酸乙烯基氧乙酯 |
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| 英文名称: | polycinnamic acid vtnyloxyothylated ester |
| CAS No.: | |
| EINECS号: | |
| 分 子 式: |
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| 分 子 量: | |
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| 沸 点: | |
| 危险品标志: |
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| 风险术语: |
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| 分子结构: |
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聚肉桂酸乙烯基氧乙酯的性质如下:
分辨力和灵敏度高、黏附性强、显影后很少产生皱胶、针孔罕观、贮存稳定和等离子去胶效果好等优异性能,这种负胶的光刻最细条宽为0.5μm,适用于1~1.5μm以上条宽的。
聚肉桂酸乙烯基氧乙酯的用途如下:
用于光敏抗蚀剂、半导体器件、集成电路的和超微细光刻材料。