| 中文名称: | 光敏聚酰亚胺光刻胶 |
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| 英文名称: | photosensitive polyimide photoresist (PSPI) |
| CAS No.: | |
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光敏聚酰亚胺光刻胶的性质如下:
1、具有可溶性,可配制成耐热的光致抗蚀剂。
2、具有高的热稳定性和坚韧性。
光敏聚酰亚胺光刻胶的用途如下:
1、用于微电子工业加工中的辅助材料。
2、可用作纯化层及大规模集成电路中的层间绝缘材料。