紫外正性光刻胶的性状: 1.琥珀色透明液体,可与醇、酮、酯互溶,遇水会析出固体。 2.闪点41℃,易燃,受光或热作用会发生分解反应。 3.对二氧化硅和金属有较好的黏附性,耐酸性能强。为邻重氮萘醌正性光刻胶。
紫外正性光刻胶的用途: 主要用于大规模集成电路微细加工,在掩模版、印刷行业PS版光刻工艺中使用。
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