| 中文名称: | 环化聚异戊二烯橡胶负性光刻胶 |
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| 英文名称: | cyclized polyisoprene rubber negative photoresist |
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环化聚异戊二烯橡胶负性光刻胶的性状:
1.外观为浅黄至琥珀色黏性、清亮透明液体。
2.易溶于苯、酮等溶剂。易受氧影响。受光、受热会发生聚合反应。
3.闪点31℃,易燃。对二氧化硅、晶硅及金属有良好的黏附性。对酸、碱有很好的抗蚀性能,为负性光刻胶。
环化聚异戊二烯橡胶负性光刻胶的用途:
主要用于功率管、分立器件、大规模集成电路、精密机械制造等微细加工。