聚乙烯醇肉桂酸酯光刻胶的性状: 1.外观淡黄色液体。在紫外光照射下会发生聚合,不见的部分不聚合。 2.曝光显影后图形清晰,质量稳定。对二氧化硅、铝、氧化铬等材料都有良好的附着力。耐氢氟酸、磷酸腐蚀。为负性光刻胶。
聚乙烯醇肉桂酸酯光刻胶的用途: 本品主要用于中、小规模集成电路和分立器件微细加工等。
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