正性电子束光刻胶的理化性质及危险特性(SDS\MSDS)表_结构式分子量熔沸闪点

中文名称：	正性电子束光刻胶
英文名称：	positive electron beam photoresist
CAS No.：
EINECS号：
分子式：
分子量：
密度：
闪点：
熔点：
沸点：
危险品标志：
风险术语：
分子结构：

物化性质

正性电子束光刻胶的用途：
本品主要用于超大规模集成电路、分立器件、功率管、机械微细加工以及铝反刻、制版等光刻工艺。

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