正性远紫外光刻胶的理化性质及危险特性(SDS\MSDS)表_结构式分子量熔沸闪点

中文名称：	正性远紫外光刻胶
英文名称：	positive deep ultraviolet photoresist
CAS No.：
EINECS号：
分子式：
分子量：
密度：
闪点：
熔点：
沸点：
危险品标志：
风险术语：
分子结构：

物化性质

正性远紫外光刻胶的性状：
1.该产品主要组成为叠氮萘醌磺酸酯-酚醛树脂。
2.外观为琥珀色黏稠液体，可溶于酯、酮等溶剂，不溶于水、醇类等。受光照射光照区会发生分解。分辨率高。

正性远紫外光刻胶的用途：
本品适用于紫外及远紫外光刻技术制造掩模版、特种电子器件、光栅、液晶显示器件等。

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