负性远紫外光刻胶的理化性质及危险特性(SDS\MSDS)表_结构式分子量熔沸闪点

中文名称：	负性远紫外光刻胶
英文名称：	negative deep ultraviOlet photoresist
CAS No.：
EINECS号：
分子式：
分子量：
密度：
闪点：
熔点：
沸点：
危险品标志：
风险术语：
分子结构：

物化性质

负性远紫外光刻胶的性状：
1.淡黄色液体，可溶于酮、醚等溶剂，不溶于水、醇类溶剂。
2.对深紫外线(200～300nm波长)有较强的吸收。抗蚀性好但灵敏度很低。

负性远紫外光刻胶的用途：
本品适用于远紫外曝光技术翻制亚微米掩膜版。

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