| 中文名称: | 超微粒干板 |
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| 英文名称: | high resolution plates |
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超微粒干板的性质:
1.本产品具有高解像率、高清洁度、高平整度等特点。
2.可记录2.5μm宽的线条图形,所得图像边缘锐度好,反差大,清晰度高。
超微粒干板的用途:
1.本品适合在大、中、小规模集成电路及晶体管制作中作为光刻掩膜版;
2.也适用其他高倍率缩微照相,如高密度资料贮存、光学仪器中的分划版和光栅计量等。