| 中文名称： | 电子工业用六氟化琉 |
|---|---|
| 英文名称： | sulfur hexafluoride for electronic industry |
| CAS No.： | |
| EINECS号： | |
| 分 子 式： | |
| 分 子 量： | |
| 密 度： | |
| 闪 点： | |
| 熔 点： | |
| 沸 点： | |
| 危险品标志： | |
| 风险术语： | |
| 分子结构： |
|
电子工业用六氟化琉的性状：
本品气体呈化学惰性，极少溶于水，微溶于醇。熔点-50.8℃；升华温度-50.8℃；临界温度45.6℃；临界压力3.37MPa；相对密度(液体-50.8℃)1.88。六氟化硫对所有金属均不腐蚀。常温常压下是一种无色、无味、无嗅、无毒气体。其分解产物具腐蚀性，有水分存在或在高温下，这种腐蚀性会增加。六氟化硫具有极好的耐热性，化学性质稳定，纯态下即使在500℃以上也不分解，也是一种稳定的高温热载体。并具有良好的电气绝缘性能及优异的灭弧性能。其耐电强度为同一压力下氮气的2.5倍，击穿电压是空气的2.5倍，在0.25MPa下与油的击穿电压相等。可作为-45～0℃温度范围内的特殊制冷剂。
电子工业用六氟化琉的用途：
本品作为良好的气体绝缘体，被广泛用于电子、电气设备的气体绝缘。新一代超高压绝缘介质材料。在气象、环境检测及其他部门用作示踪剂、标准气或配制标准混合气。在光纤制备中用作生产掺氟玻璃的氟源，在制造低损耗优质单模光纤中用作隔离层的掺杂剂。还可用作氮准分子激光器的掺力Ⅱ气体。电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂，广泛应用于微电子技术领域，用作电脑芯片、液晶屏等大型集成电路制造中的等离子刻蚀及清洗剂。
