基本信息
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全氟丁二烯
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685-63-2
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1,1,2,3,4,4-Hexafluorobuta-1,3-diene
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C4F6
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162.03
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Hexafluoro-1,3-butadiene
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211-681-0
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1.553
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1,3-Butadiene,hexafluoro- (6CI,7CI);1,1,2,3,4,4-Hexafluoro-1,3-butadiene;1,3-Butadiene,1,1,2,3,4,4-hexafluoro-;Perfluoro-1,3-butadiene;Sifren 46;
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-132 ºC
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6-7°C
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详细信息
产品名称：六氟丁二烯 hexafluorobutadiene-1,3
CAS号：685-63-2
含量：99.99%
分子式：C4F6
分子量：162.03
熔点：-132℃
沸点：6℃
临界温度：170.7℃
临界压力：6.08MPa
液体密度：1.425 g/cm3
气体密度：5.6
水中溶解度：不溶解
危险性类别：第2.3类有毒气体
包装规格
钢瓶容积：10 L，47 L
阀门:DISS726，CGA350
钢瓶压力:0.1 MPa
气体质量:5 kg，10 kg，50 kg
UN编号:3160
应用：
六氟丁二烯主要用于半导体的等离子蚀刻，具有更快的蚀刻速率、高选择性和高深宽比，在大气中寿命较短，全球变暖潜值和传统刻蚀剂相比可忽略不计。是一种温室效应低，绿色环保的高效刻蚀剂。
