三(叔丁氧基)硅烷醇(18166-43-3)

CAS NO:
18166-43-3
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基本信息

  • 三(叔-丁氧基)硅烷醇
  • 18166-43-3
  • (CH3)3CO)3SiOH
  • C12H28O4Si
  • 264.43
  • Silicic acid (H4SiO4),tris(1,1-dimethylethyl) ester
  • 0,92 g/cm3
  • Silicicacid (H4SiO4), tri-tert-butyl ester (8CI); NSC 243646;Tri(tert-butyloxy)silanol; Tri-tert-butoxysilanol; Tri-tert-butyl silicate;Tris(tert-butoxy)silanol
  • >65°C
  • 63-65 °C(lit.)
  • 205-210 °C(lit.)

详细信息

CAS:18166-43-3Beilstein: 分子式:((CH3)3CO)3SiOH分子量: 264.43 别名:TBS贮存:充氩保存用途:三(叔丁氧基)硅烷醇与四(二甲基氨基)-铪蒸气(Hf(N(CH3)2)4)反应,用于硅酸铪玻璃膜的气相沉积。三(叔丁氧基)硅烷醇被用于无定形二氧化硅和氧化铝纳米层的高度共形层的原子层沉积(ALD)。 联合国号:
公司信息

上海瀚思化工有限公司

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