硅化钒(12039-87-1)

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12039-87-1
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基本信息

  • 硅化钒
  • 12039-87-1
  • 硅化钒
  • Si2V
  • 107.11
  • Vanadium silicide(VSi2)
  • 234-908-5
  • g/cm3
  • Monovanadiumdisilicide; Vanadium disilicide; Vanadium disilicide (VSi2)
  • °C
  • 1677 °C
  • °Cat760mmHg

详细信息

中文名称:硅化钒
CAS No:12039-87-1
EINECS号:234-908-5
分子式:Si2V
沸点:°Cat760mmHg
闪光点:°C
密度:4.420
用途:硅化物是制备大规模集成电路的关键材料,用它可以作电路的欧姆接触、肖特基势垒和电极引线,超大规模集成电路结深很浅,如64 兆位的超大规模集成电路的PN 结深度浅到200nm ,在如此浅结表面用常规的方法制备电极引线,经常导致PN 结穿通,使电路失效,为此则需要制备薄层硅化物,其中硅化钒是一种 的选择。 
安全说明:safetyDesc

公司信息

上海先芯新材料科技有限公司

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