五氟化铀早期是通过HF和UCl5或UCl6之间的卤原子交换反应制得，或者按化学计量使UF6和UF4在升高温度下反应制得。在无水氟化氢(AHF)介质中用F2控制氧化具有较大表面积的UF4也可制得。后来又有用H2、HBr、Si和CO还原溶解在AHF中的UF6来制备UF5等方法，这些方法中都使用到了高腐蚀性物质如F2、HF等，所以对设备要求比较严格且较复杂。除此之外，还有一种相对简单的可得到高纯UF5的方法，即在低温下(-78℃)用PF3还原UF6得到UF5，可用于制备20g量以上的产品。
制法 使挥发性反应剂在一个Monel真空系统 (基于Argonne National Laboratory的设计)中操作，用一简单且便宜的由Whitey阀和Swagelok连接件组装起来的不锈钢管线作为反应装置。取445gUF6(126mmol)和107mmol的PF3使其在-196℃冷凝到一厚壁不锈钢反应容器中，并在-78℃下放置两天，然后慢慢的升温至室温。在这些条件下，反应是不够完全的，蒸馏出未反应的PF3和UF6以及反应产物UF5，使其分别冷凝到-78℃和-196℃的阱中，接着将系统抽真空两小时。有17.5g(49.7mmol)未反应的UF6在-78℃冷凝下来，从高效套箱中的反应容器中回收得到24.8g的非挥发性产品，X射线衍射确定此产品是β-UF5。颜色呈浅黄绿或蓝绿色。
制备少量的UF5时，则可取0.22g(0.62mmol)UF6室温下溶解在带有聚四氟乙烯磁搅拌棒的Kel-F管中的大约3mL的AHF中，将管子冷却到-196℃，再将过量的PF3(5.7mmol)冷凝到固体AHF上，然后，将混合物慢慢升温至室温，搅拌并维持约2h。最后除去所有挥发性物质就得到亮蓝绿色的固体沉淀β-UF5产品。
已知UF5有两种存在形式，即α-UF5和β-UF5。α-UF5属四方晶系结构，a1＝(6.512±0.001)kX，a3=(4.463±0.001)kX；β-UF5，四方晶系结构，a1＝(11.450±0.002)kX，a3=(5.198±0.001)kX。β-UF5的颜色除黄绿或蓝绿之外，也有其他颜色报道，这种颜色上的不同，可能是因产品表面很轻微的水解造成的。UF5有一定的挥发性、腐蚀性。易溶于甲基氰，易潮解，易发生歧化反应。α-UF5熔点为348℃，室温时密度为5.81g/cm3。在365～420℃温度范围内，UF5的密度为4.50g/cm3，比电导率可以方程式
к(Ω-1·cm-1)=2.63exp［-2.84/RT］[R—气体常数，kcal/mol（1kcal=4.1868kJ），T—绝对温度，单位：K]表示，黏度方程为：
η(cp)=(1.60×10-2)exp［7.03/RT］(R、T意义、单位同上)。
1.疏水参数计算参考值（XlogP）:无
2.氢键供体数量:0
3.氢键受体数量:5
4.可旋转化学键数量:0
5.互变异构体数量:无
6.拓扑分子极性表面积0
7.重原子数量:6
8.表面电荷:-5
9.复杂度:0
10.同位素原子数量:0
11.确定原子立构中心数量:0
12.不确定原子立构中心数量:0
13.确定化学键立构中心数量:0
14.不确定化学键立构中心数量:0
15.共价键单元数量:6