| 中文名称： | 电子级六氟乙烷 |
|---|---|
| 英文名称： | Ethane,1,1,1,2,2,2-hexafluoro- |
| CAS No.： | 76-16-4 |
| EINECS号： | 200-939-8 |
| 分 子 式： | C2F6 |
| 分 子 量： | 138.01 |
| 密 度： | 1,607 g/cm3 |
| 闪 点： | |
| 熔 点： | −100 °C(lit.) |
| 沸 点： | −78 °C(lit.) |
| 危险品标志： |
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| 风险术语： |
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| 分子结构： |
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电子级六氟乙烷(76-16-4)的性状：
1.无色，不可燃气体，不溶于水，溶于乙醇。沸点-78.2℃，熔点-100.6℃，临界温度19.7℃，常温下(19.7℃)是压缩气体。
2.化学性质不活泼，在600℃以下与石英不反应，在842℃下还不全部分解。在处理六氟乙烷过程中，可按无毒气体处理，但与可燃气体一同燃烧时，分解产生有毒的氟化物。
电子级六氟乙烷(76-16-4)的用途：
用于微电子工业中仵等离子蚀刻气体，以及器件表面清洗、光纤生产、低温制冷。