电子级六氟乙烷

基本信息
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电子级六氟乙烷基本信息

中文名称：: 电子级六氟乙烷

中文别名：: 六氟乙烷;
R116;
全氟乙烷;
(mono)chloropentafluoroethane;
1-Chlor-1,1,2,2,2-pentafluorethan;
1-Chloro-1,1,2,2,2-Pentafluoroethane;
1-chloro-1,1,2,2,2-pentafluoro-ethane;
1-chloropentafluoroethane;
CF3CF2Cl;
chloropentafluoroethane;
FC 113;
Flugene 113;
Forane 113;
Freon TF;
Frigen 113;
Ucon fluorocarbon 113;
1,1,2-Trichloro-1,2,2-trifluoroethane;
Pentalin;
RCRA waste number U184;
Ethane, 1,1,1,2,2-pentachloro-;
Pentachloroethane [UN1669]

英文名称：: Ethane,1,1,1,2,2,2-hexafluoro-

英文别名：: hexafluoroethane;
1,1,1,2,2,2-hexafluoro-ethane;
Ethane,hexafluoro;
UN2193;
EINECS 200-939-8;
HEXAFLUOROETHANE;
Perfluoroethane;
Freon 116;
Hexafluor-aethan

CAS No.：: 76-16-4

分子式：: C₂F₆

分子量：: 138.01

精确分子量：: 137.99000

PSA：: 0.00000

MDL：: MFCD00000428

EINECS：: 200-939-8

InChI：: InChI=1/C2F6/c3-1(4,5)2(6,7)8

危险品标志：

风险术语：

安全术语：: S38

分子结构式：

SDS：: 查看

电子级六氟乙烷制备方法及用途

制备方法

以活性炭与氟为原料,在装有活性炭的反应炉中缓慢通入高浓氟气,通过控制电加热,供氟速率和冷却反应炉来控制反应温度。反应产物经过除尘、碱洗、脱水后,可获得含CF4、C2F6、C3F8的粗品,然后把粗品混合物进行间歇低温精馏,提取C2F6,再用分子筛进一步进行低温吸附脱水,可获得纯度大于99.7%的C2F6。

合成制备方法

以活性炭与氟为原料，在装有活性炭的反应炉中缓慢通入高浓氟气，通过控制电加热，供氟速率和冷却反应炉来控制反应温度。反应产物经过除尘、碱洗、脱水后，可获得含ＣＦ４、Ｃ２Ｆ６、Ｃ３Ｆ８的粗品，然后把粗品混合物进行间歇低温精馏，提取Ｃ２Ｆ６，再用分子筛进一步进行低温吸附脱水，可获得纯度大于99.7%的Ｃ２Ｆ６。

用途简介

1.用作绝缘气、等离子蚀刻剂, 高介电强度泠却剂 2.用于微电子工业中作等离子蚀刻气体以及器件表面清洗、光纤生产、低温制冷。

用途

1.用作绝缘气、等离子蚀刻剂, 高介电强度泠却剂
2.用于微电子工业中作等离子蚀刻气体以及器件表面清洗、光纤生产、低温制冷。

电子级六氟乙烷物化性质

外观与性状：
无色气体

密度：
1,607 g/cm3

熔点：
−100 °C(lit.)

沸点：
−78 °C(lit.)

折射率：
1.202

蒸汽密度：
4.7 (vs air)

存储条件/存储方法：
库房通风低温干燥,与易燃物分开存放

稳定性相关：

常温常压下稳定
避免氧化物

其它信息：

1.       性状：无色、无臭的气体。
2.       密度（g/mL,25℃）：1.607
3.       相对蒸汽密度（g/mL,空气=1）：4.7
4.       熔点（ºC）：-100.6
5.       沸点（ºC,常压）：-78.2
6.    临界温度（K）：19.85
7.    临界压力（MPa）：3.043
8.      临界密度（g·cm^-3）：0.622
9.     临界体积（cm³·mol^-1）：221
10.   临界压缩因子：0.276
11.    偏心因子：0.245
12.    饱和蒸气压（kPa,20 ºC）：182
13.    van der Waals面积（cm²·mol^-1）：6.900×10⁹
14.    临界温度（ºC）：145.7
15.    临界压力（MPa）：3.29
16.    Lennard-Jones参数（A）：5.5571
17.    Lennard-Jones参数（K）：161.14
18.    van der Waals体积（cm³·mol^-1）：42.660
19.    溶解性：微溶于水
20.    气相标准声称热(焓)( kJ·mol^-1) ：-1343
21.    气相标准熵(J·mol^-1·K^-1) ：332.5
22.    气相标准生成自由能( kJ·mol^-1)：-1257.0
23.    气相标准热熔(J·mol^-1·K^-1)：106.54

电子级六氟乙烷安全信息

风险类别：
2.2

WGK_Germany：
3
德国有关水污染物质的分类清单

安全说明：
S38

RTECS号：
KI4110000

安全标志：
S38:在通风不良的场所，佩戴合适的呼吸装置。

危险标志：
Xi

电子级六氟乙烷毒理性

CHEMICAL IDENTIFICATION

RTECS NUMBER :
KI4110000

CHEMICAL NAME :
Ethane, hexafluoro-

CAS REGISTRY NUMBER :
76-16-4

BEILSTEIN REFERENCE NO. :
1740328

LAST UPDATED :
199710

DATA ITEMS CITED :
5

MOLECULAR FORMULA :
C2-F6
HEALTH HAZARD DATA
ACUTE TOXICITY DATA

TYPE OF TEST :
LC - Lethal concentration

ROUTE OF EXPOSURE :
Inhalation

SPECIES OBSERVED :
Rodent - rat

DOSE/DURATION :
>20 pph/2H

TOXIC EFFECTS :
Details of toxic effects not reported other than lethal dose value

REFERENCE :
JOCMA7 Journal of Occupational Medicine. (Chicago, IL) V.1-9, 1957-67. For publisher information, see:JJOMDZ Volume(issue)/page/year: 4,262,1962 *** NIOSH STANDARDS DEVELOPMENT AND SURVEILLANCE DATA *** NIOSH OCCUPATIONAL EXPOSURE SURVEY DATA : NOHS - National Occupational Hazard Survey (1974) NOHS Hazard Code - 82200 No. of Facilities: 11 (estimated) No. of Industries: 1 No. of Occupations: 3 No. of Employees: 357 (estimated) NOES - National Occupational Exposure Survey (1983) NOES Hazard Code - 82200 No. of Facilities: 7 (estimated) No. of Industries: 1 No. of Occupations: 1 No. of Employees: 332 (estimated) No. of Female Employees: 184 (estimated)

毒理学数据：

1、   急性毒性：大鼠吸入LC：>20pph /2H
大鼠吸入80%（20%为O2）×4h，近似致死浓度。本品可引起快速窒息。接触后引起头痛、恶心和眩晕。可视为无毒气体，但与可燃气体一同燃烧时，分解产生有毒的氟化物。

生态数据：

对环境有危害，对水体和大气可造成污染，对大气臭氧层有极强破坏力。

电子级六氟乙烷 MSDS

第一部分：化学品名称

化学品中文名称：六氟乙烷；全氟乙烷

化学品英文名称： Hexafluoroethane

中文俗名或商品名：

Synonyms：

CAS No.： 76-16-4

分子式： C₂F₆

分子量： 138

第二部分：成分/组成信息

             纯化学品   混合物

             化学品名称：六氟乙烷；全氟乙烷

有害物成分含量 CAS No.

六氟乙烷 100 76-16-4

第三部分：危险性概述

危险性类别：第2．2类不燃气体

侵入途径：吸入

健康危害：本品可引起快速窒息。接触后引起头痛、恶心和眩晕。

环境危害：对环境有危害，对水体和大气可造成污染，对大气臭氧层有极强破坏力。

燃爆危险：本品不燃。

第四部分：急救措施

皮肤接触：

眼睛接触：

吸入：脱离现场至空气新鲜处。呼吸困难时给输氧。呼吸停止时，立即进行人工呼吸。就医。

食入：

第五部分：消防措施

危险特性：若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。

有害燃烧产物：氟化氢。

灭火方法及灭火剂：切断气源。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。雾状水。

消防员的个体防护：建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器。尽可能切断泄漏源。

禁止使用的灭火剂：

闪点(℃)：无意义

自燃温度(℃)：无意义

爆炸下限[%(V/V)]：无意义

爆炸上限[%(V/V)]：无意义

最小点火能(mJ)：

爆燃点：

爆速：

最大燃爆压力(MPa)：

建规火险分级：

第六部分：泄漏应急处理

应急处理：戴自给式呼吸器，穿工作服。切断气源，抽排(室内)或强力通风(室外)。漏气容器不能再用，且要经过技术处理以清除可能剩下的气体。

第七部分：操作处置与储存

操作注意事项：密闭操作，全面通风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴过滤式防毒面具（半面罩）。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂接触。搬运时戴好钢瓶安全帽和防震橡皮圈，防止钢瓶碰撞、损坏。配备泄漏应急处理设备。

储存注意事项：储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。应与氧化剂分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。

第八部分：接触控制/个体防护

最高容许浓度：中国 MAC：未制订标准前苏联MAC：未制订标准美国TLV—TWA：未制订标准美国

监测方法：

工程控制：生产过程密闭，全面通风。

呼吸系统防护：空气中浓度较高时，应该佩戴防毒面具。紧急事态抢救或撤离时，建议佩戴自给式呼吸器。

眼睛防护：一般不需特殊防护。

身体防护：穿工作服。

手防护：一般不需特殊防护。

其他防护：避免高浓度吸入。

第九部分：理化特性

外观与性状：无色、无气味、非易燃的气体，在24．3℃以上时不能保持液态，通常装在耐高压钢瓶内。

pH：

熔点(℃)： -101

沸点(℃)： -78

相对密度(水=1)： 1．61

相对蒸气密度(空气=1)： 4．7

饱和蒸气压(kPa)：

燃烧热(kJ/mol)：

临界温度(℃)：

临界压力(MPa)：

辛醇/水分配系数的对数值：

闪点(℃)：无意义

引燃温度(℃)：无意义

爆炸上限%(V/V)：无意义

爆炸下限%(V/V)：无意义

分子式： C₂F₆

分子量： 138

蒸发速率：

粘性：

溶解性：

主要用途：用作绝缘气、等离子蚀刻剂，高介电强度冷却剂。

第十部分：稳定性和反应活性

稳定性：在常温常压下稳定

禁配物：强氧化剂。

避免接触的条件：

聚合危害：不能出现

分解产物：氟化氢。

第十一部分：毒理学资料

急性毒性：属低毒类

急性中毒：

慢性中毒：

亚急性和慢性毒性：

刺激性：

致敏性：

致突变性：

致畸性：

致癌性：

第十二部分：生态学资料

生态毒理毒性：

生物降解性：

非生物降解性：

生物富集或生物积累性：

第十三部分：废弃处置

废弃物性质：

废弃处置方法：根据国家和地方有关法规的要求处置。或与厂商或制造商联系，确定处置方法。

废弃注意事项：

第十四部分：运输信息

危险货物编号： 22034

UN编号： 2193

包装标志：

包装类别： Ⅲ

包装方法：钢质气瓶。

运输注意事项：采用刚瓶运输时必须戴好钢瓶上的安全帽。钢瓶一般平放，并应将瓶口朝同一方向，不可交叉；高度不得超过车辆的防护栏板，并用三角木垫卡牢，防止滚动。严禁与氧化剂等混装混运。夏季应早晚运输，防止日光曝晒。铁路运输时要禁止溜放。

RETCS号：

IMDG规则页码：

第十五部分：法规信息

国内化学品安全管理法规：化学危险物品安全管理条例 (1987年2月17日国务院发布)，化学危险物品安全管理条例实施细则 (化劳发[1992] 677号)，工作场所安全使用化学品规定 ([1996]劳部发423号)等法规，针对化学危险品的安全使用、生产、储存、运输、装卸等方面均作了相应规定；常用危险化学品的分类及标志 (GB 13690-92)将该物质划为第2.2 类不燃气体。

国际化学品安全管理法规：

第十六部分：其他信息

参考文献： 1.周国泰，化学危险品安全技术全书，化学工业出版社，1997 2.国家环保局有毒化学品管理办公室、北京化工研究院合编，化学品毒性法规环境数据手册，中国环境科学出版社.1992 3.Canadian Centre for Occupational Health and Safety,CHEMINFO Database.1998 4.Canadian Centre for Occupational Health and Safety, RTECS Database, 1989

填表时间：年月日

填表部门：

数据审核单位：

修改说明：

其他信息： 3

MSDS修改日期：年月日

电子级六氟乙烷分子结构与计算化学数据

分子结构数据

1、   摩尔折射率：12.22
2、   摩尔体积（cm³/mol）：94.3
3、   等张比容（90.2K）：158.9
4、   表面张力（dyne/cm）：8.0
5、   介电常数：无可用
6、   偶极距（10^-24cm³）：无可用
7、   极化率：4.84

计算化学数据

1.疏水参数计算参考值（XlogP）:无
2.氢键供体数量:0
3.氢键受体数量:6
4.可旋转化学键数量:0
5.互变异构体数量:无
6.拓扑分子极性表面积0
7.重原子数量:8
8.表面电荷:0
9.复杂度:61.5
10.同位素原子数量:0
11.确定原子立构中心数量:0
12.不确定原子立构中心数量:0
13.确定化学键立构中心数量:0
14.不确定化学键立构中心数量:0
15.共价键单元数量:1

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化学品中文名称：	六氟乙烷；全氟乙烷
化学品英文名称：	Hexafluoroethane
中文俗名或商品名：
Synonyms：
CAS No.：	76-16-4
分子式：	C₂F₆
分子量：	138

危险性类别：	第2．2类不燃气体
侵入途径：	吸入
健康危害：	本品可引起快速窒息。接触后引起头痛、恶心和眩晕。
环境危害：	对环境有危害，对水体和大气可造成污染，对大气臭氧层有极强破坏力。
燃爆危险：	本品不燃。

皮肤接触：
眼睛接触：
吸入：	脱离现场至空气新鲜处。呼吸困难时给输氧。呼吸停止时，立即进行人工呼吸。就医。
食入：

危险特性：	若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。
有害燃烧产物：	氟化氢。
灭火方法及灭火剂：	切断气源。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。雾状水。
消防员的个体防护：	建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器。尽可能切断泄漏源。
禁止使用的灭火剂：
闪点(℃)：	无意义
自燃温度(℃)：	无意义
爆炸下限[%(V/V)]：	无意义
爆炸上限[%(V/V)]：	无意义
最小点火能(mJ)：
爆燃点：
爆速：
最大燃爆压力(MPa)：
建规火险分级：

操作注意事项：	密闭操作，全面通风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴过滤式防毒面具（半面罩）。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂接触。搬运时戴好钢瓶安全帽和防震橡皮圈，防止钢瓶碰撞、损坏。配备泄漏应急处理设备。
储存注意事项：	储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。应与氧化剂分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。

最高容许浓度：	中国 MAC：未制订标准前苏联MAC：未制订标准美国TLV—TWA：未制订标准美国
监测方法：
工程控制：	生产过程密闭，全面通风。
呼吸系统防护：	空气中浓度较高时，应该佩戴防毒面具。紧急事态抢救或撤离时，建议佩戴自给式呼吸器。
眼睛防护：	一般不需特殊防护。
身体防护：	穿工作服。
手防护：	一般不需特殊防护。
其他防护：	避免高浓度吸入。

外观与性状：	无色、无气味、非易燃的气体，在24．3℃以上时不能保持液态，通常装在耐高压钢瓶内。
pH：
熔点(℃)：	-101
沸点(℃)：	-78
相对密度(水=1)：	1．61
相对蒸气密度(空气=1)：	4．7
饱和蒸气压(kPa)：
燃烧热(kJ/mol)：
临界温度(℃)：
临界压力(MPa)：
辛醇/水分配系数的对数值：
闪点(℃)：	无意义
引燃温度(℃)：	无意义
爆炸上限%(V/V)：	无意义
爆炸下限%(V/V)：	无意义
分子式：	C₂F₆
分子量：	138
蒸发速率：
粘性：
溶解性：
主要用途：	用作绝缘气、等离子蚀刻剂，高介电强度冷却剂。

稳定性：	在常温常压下稳定
禁配物：	强氧化剂。
避免接触的条件：
聚合危害：	不能出现
分解产物：	氟化氢。

急性毒性：	属低毒类
急性中毒：
慢性中毒：
亚急性和慢性毒性：
刺激性：
致敏性：
致突变性：
致畸性：
致癌性：

生态毒理毒性：
生物降解性：
非生物降解性：
生物富集或生物积累性：

废弃物性质：
废弃处置方法：	根据国家和地方有关法规的要求处置。或与厂商或制造商联系，确定处置方法。
废弃注意事项：

危险货物编号：	22034
UN编号：	2193
包装标志：
包装类别：	Ⅲ
包装方法：	钢质气瓶。
运输注意事项：	采用刚瓶运输时必须戴好钢瓶上的安全帽。钢瓶一般平放，并应将瓶口朝同一方向，不可交叉；高度不得超过车辆的防护栏板，并用三角木垫卡牢，防止滚动。严禁与氧化剂等混装混运。夏季应早晚运输，防止日光曝晒。铁路运输时要禁止溜放。
RETCS号：
IMDG规则页码：

参考文献：	1.周国泰，化学危险品安全技术全书，化学工业出版社，1997 2.国家环保局有毒化学品管理办公室、北京化工研究院合编，化学品毒性法规环境数据手册，中国环境科学出版社.1992 3.Canadian Centre for Occupational Health and Safety,CHEMINFO Database.1998 4.Canadian Centre for Occupational Health and Safety, RTECS Database, 1989
填表时间：	年月日
填表部门：
数据审核单位：
修改说明：
其他信息：	3
MSDS修改日期：	年月日

电子级六氟乙烷

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电子级六氟乙烷 制备方法及用途

制备方法

合成制备方法

用途简介

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电子级六氟乙烷 安全信息

电子级六氟乙烷 毒理性

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HEALTH HAZARD DATA

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分子结构数据

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