| 中文名称: | 电子级磷酸 |
|---|---|
| 英文名称: | phosphoric acid |
| CAS No.: | |
| EINECS号: | |
| 分 子 式: | H3PO4 |
| 分 子 量: | |
| 密 度: | |
| 闪 点: | |
| 熔 点: | |
| 沸 点: | |
| 危险品标志: | |
| 风险术语: | |
| 分子结构: |
|
电子级磷酸的性状:
本品具潮解性。无色、无臭、透明液体。熔点42.35℃。接触强腐蚀剂,放出大量热量,并发生溅射。其酸性较硫酸、盐酸和硝酸等强酸为弱,但较醋酸、硼酸等弱酸为强。溶于水、乙醇并放热。有腐蚀性。经高温加热约200便失水成焦磷酸;超过300℃为偏磷酸。受热分解产生剧毒的氧化磷烟气。
电子级磷酸的用途:
本品在硅平面管和集成电路生产中,用磷酸作酸性清洗腐蚀剂。