电子级氢氟酸的性状: 1.氢氟酸是氟化氢的水溶液,为无色透明液体。 2.在25℃时密度为1.15g/mL(50%HF)。对金属、玻璃、混凝土等具有强烈腐蚀性。
电子级氢氟酸的用途: 在集成电路制造工艺中主要用于硅片清洗、腐蚀工序,用时可与氨水、硝酸、过氧化氢、醋酸等配制使用。
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