全氟丁二烯(685-63-2)

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CAS NO:
685-63-2
纯 度:
99% min
规 格:
5kg,10kg,40kg
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基本信息

  • 全氟丁二烯
  • 685-63-2
  • 1,1,2,3,4,4-Hexafluorobuta-1,3-diene
  • C4F6
  • 162.03
  • Hexafluoro-1,3-butadiene
  • 211-681-0
  • 1.553
  • 1,3-Butadiene,hexafluoro- (6CI,7CI);1,1,2,3,4,4-Hexafluoro-1,3-butadiene;1,3-Butadiene,1,1,2,3,4,4-hexafluoro-;Perfluoro-1,3-butadiene;Sifren 46;
  • -132 ºC
  • 6-7°C

详细信息

全氟丁二烯/C4F6

全氟丁二烯/C4F6作为一种温室效应GWP极低,绿色环保的高效干蚀刻气体,具有更快刻蚀速率、更高选择性和更高精确性,更适合于高深宽比的蚀刻工艺。

产品信息概括

项目

说明

化学名称

全氟丁二烯,六氟-1,3-丁二烯

CAS号

685-63-2

ODP

0

GWP100年

290

大气停留时间(天)

<1


物化性质

属性

化学名称

全氟丁二烯,六氟-1,3-丁二烯

化学式

CF2=CF-CF=CF2

分子式

C4F6

分子量

162.03

沸点(℃)

6

凝固点(℃)

-130

临界温度(℃)

139.6

临界压力(bar)

31.9

液体密度(15℃,kg/l)

1.44

蒸汽密度(kg/m3,@15℃)

6.8

蒸汽压(25℃,bar)

2.11

汽化潜热(熔点时,1.013bar情况下,kJ/kg)

161.8

空气中的可燃范围(%vol)

7-73


公司信息

上海宇极赛氟科技有限公司

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