C14H9Cl6N3O
光产酸剂 HS-PAG-3
化学名称:2-[2-(4-甲氧基苯基-2-基)乙烯基]-4-6-二(三氯甲基)-1,3,5-三嗪
英文名称:2-[2-(4-Methoxyphenyl-2-yl)vinyl]-4,6-bis(trichloromethyl)1,3,5-triazine
CAS: 42573-57-9
分子式:C14H9Cl6N3O
分 子 量:447.96
技术指标
外观:黄色结晶粉末
纯度:≥99%
熔点:188-195℃
紫外吸收范围:200-430nm
在373处是最大吸收峰,εmax=4.108*104
优点:较高光引发剂活性;热稳定性好,溶解性好;较好的光可控性
应用:本产品是平版印刷版、光刻录胶生产过程中重要的原料,在适当的光源照射或热作用时会产生氢卤酸,这个强酸可以使催化曝光区域的阻溶促溶剂分解,使曝光区域变得碱可溶,从而形成阳图图像,也可以催化树脂交联或聚合,使曝光区在碱显影液中不溶而形成阴图图像。主要用于平版印刷版,由于光产生体系的光致抗蚀剂具有很好的化学增幅效应、较高的成像灵敏度和记录精度,该产品也被广泛用于大规模集成电路的加工。