一氧四氟化氙是XeF6不完全水解的产物，控制XeF6同水蒸气饱和过的空气反应可生成XeOF4，也可将XeF6封入石英管使其同SiO2反应生成XeOF4。但这两种方法都有可能生成XeO3,反应进程不易掌握，下述制法是获得纯净XeOF4的简易方法。
制法制备一氧四氟化氙的反应方程式为：
NaNO3+XeF6→NaF+XeOF4+FNO2
反应中所用的NaNO3预先在120℃的真空干燥箱中充分干燥，并研成细粉。反应在一10mL的不锈钢反应管中进行，该反应管上安装有不锈钢阀，可与真空系统相连接。在充满干燥氮气的手套箱中，将0.26g NaNO3装入反应管中。在反应管接入真空系统之后，将其放入-196℃的冷浴中，通过真空管线将0.84gXeF6加入其中。取下反应管使其升温至室温，然后放入70℃的烘箱中保持10h。再将其接入真空系统，并冷却到-196℃，在接入真空系统的管线中还要接入两个聚四氟乙烯的U形管冷阱，并分别冷却到-78℃和-196℃。使不锈钢反应管的温度慢慢升高至室温，则其中的挥发性产物经分步冷凝而得到分离。在-78℃的冷阱中是相当纯净的XeOF4，以投入的NaNO3计算产率可达82%。而在-196℃的冷阱中收集的是FNO2，不锈钢反应管中的剩余物主要是NaF。
是一种比较稳定的化合物，在镍容器中可长期储存，但会与石英和玻璃中的SiO2反应，可发生水解生成XeO2F2,水解的最终产物是XeO3。
1.性状：无色挥发性液体。
2.熔点（℃）：-46.2。
3.沸点（℃）：101.5。
