在温度为300℃和5.05MPa的高压下，大过量的氟与氙(F2/Xe比为20)直接反应，产物主要为XeF6,同时也有XeF4生成。为了得到纯净的XeF6，利用XeF6易与NaF生成加合物NaXeF7的性质，使之与XeF4分离，然后使NaXeF7热解即可制得XeF6。下面介绍的制法则可直接得到纯净的XeF6。
制法 制备XeF6的反应器为一经充分钝化处理的不锈钢管制成，管内安装一根加热用的镍电阻丝，反应开始时反应器置于液氮中，而电阻丝以直流电源供电加热至700～800℃。该反应器与真空系统相连接，真空系统由一缓冲容器和一金属风箱式循环抽气泵组成。将2.0g氙冷凝在反应器的器壁上，应确保反应器沿长度方向的全部器壁都均匀地附着薄薄一层固体氙，接着将氟引入缓冲容器中(在压力为21.3kPa时，体积为22L，约7.2g)。接通加热电源，使电阻丝的温度达到700～800℃，同时开动循环泵，使氟以6.7～9.3kPa的额定压力通过反应器，1h后，关闭反应器，XeF6在冷却至-78℃的不锈钢冷阱中冷凝形成白色固体，产量为2.3g,产率以投入的氙计算达62%。
六氟化氙是一种热力学稳定的化合物，可储存在镍或镍合金容器中，是一种很强的氧化剂和氟化剂，在水中水解生成XeOF4和HF，水解的最终产物为XeO3。
1.性状：无色固体，单斜晶系结晶，蒸气为绿黄色。
2.密度（g/cm3）：3.56 。
3.熔点（℃）：49.48。
4.沸点（℃）：75.57。
1.疏水参数计算参考值（XlogP）:无
2.氢键供体数量:0
3.氢键受体数量:6
4.可旋转化学键数量:0
5.互变异构体数量:无
6.拓扑分子极性表面积0
7.重原子数量:7
8.表面电荷:0
9.复杂度:62.7
10.同位素原子数量:0
11.确定原子立构中心数量:0
12.不确定原子立构中心数量:0
13.确定化学键立构中心数量:0
14.不确定化学键立构中心数量:0
15.共价键单元数量:1