中文名：氟化钼(VI)
英文名：molybdenum hexafluoride
中文别名：荧光钼(Ⅵ)|六氟化钼
CAS号：7783-77-9
EINECS号：232-026-5
密度：2.3 g/mL
沸点：37 °C
熔点：17.5 °C
分子式：F6Mo
分子量：209.95000
闪点：35°C
化学性质：六氟化钼为白色立方结晶，极易吸潮，在潮湿空气中放出蓝白色烟雾，易挥发成气体
用途：用作强氟化剂、成膜材料及离子掺杂
一种用于分析六氟化钼产品中杂质的气相色谱检测系统和方法，包括载气第一支路、载气第二支路、载气第三支路和载气第四支路，第一色谱柱、第二色谱柱、第三色谱柱和第四色谱柱，以及第一切换阀、第二切换阀和第三切换阀，第一切换阀和第三切换阀之间设置有第二色谱柱，第二切换阀和第三切换阀之间设置有第四色谱柱。本发明通过第一切换阀和第二切换阀之间的管路，一次完成第一定量环和第二定量环的进样，然后样品气依次进行检测，两次检测互不干扰，提高了检测结果的准确性，进样结束和检测结束后，分别使用载气进行反吹，减少六氟化钼对管路与设备的腐蚀。
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